潔淨工程管理要點
潔淨工程也叫潔淨淨化工程，潔淨室裝修改造，潔淨廠房，OLED潔淨工程管理要點, OLED器件是在潔淨室內(nei) 進行生產(chan) 的，潔淨室工程質量好壞，決(jue) 定著生產(chan) 線產(chan) 品合格率的高低，進而影響產(chan) 品成本。
潔淨室淨化工程主要之作用在於(yu) 控製產(chan) 品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產(chan) 品能在一個(ge) 良好之環境空間中生產(chan) 、製造，此空間我們(men) 稱之為(wei) 潔淨室。按照國際慣例，無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於(yu) 劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控製在一個(ge) 非常微量的單位上。當然這個(ge) 標準中符合灰塵標準的顆粒相對於(yu) 我們(men) 常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於(yu) 光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會(hui) 產(chan) 生非常大的負麵影響，所以在光學構造產(chan) 品的生產(chan) 上，無塵是必然的要求。
每立方米將小於(yu) 0.3微米粒徑的微塵數量控製在3500個(ge) 以下，就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產(chan) 加工的無塵標準對於(yu) 灰塵的要求高於(yu) A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chan) 上。微塵數量被嚴(yan) 格控製在每立方米1000個(ge) 以內(nei) ，這也就是業(ye) 內(nei) 俗稱的1K級別。
我公司承建了一個(ge) OLED實驗線潔淨室工程，本文將係統介紹該潔淨室工程管理的要點。
1、工程概況
該項目主廠房生產(chan) 區域為(wei) 兩(liang) 層鋼筋混凝土框架結構及鋼屋架結構，混凝土屋麵采用柔性高分子卷材屋麵, 鋼結構屋麵采用機械固定的卷材屋麵方式，一層層高4.8m，二層層高6.4m，一層技術下夾層與(yu) 二層生產(chan) 區之間的樓板采用華夫板方式，利用華夫板上的開洞滿足兩(liang) 層之間的回風，華夫板上設置導電性架空地板，設備根據工藝要求布置在架空地板或華夫板上。
2、設施布局
一層主要包括的功能房間為(wei) 技術下夾層，回風夾道，送風，高效送風口，沿下夾層區域四周布置有門廳、換鞋區、一更、化學品供應、特氣供應、廢液收集、廢水提升站、冷卻循環水站、純水拋光間、真空間、變電站、物料暫存間、成品暫存間等。
二層是大開間的工藝生產(chan) 區，布置生產(chan) 設備。該層與(yu) 技術下夾層之間的結構樓板是有一定開孔率的華夫板，華夫板上方安裝架空活動地板，以滿足回風的要求；生產(chan) 設備層的吊頂安裝風機過慮器單元（FFU），以滿足生產(chan) 層淨化要求。
二層核心淨化區包括的區域有PVD/CVD、光刻間、掩模清洗、注入間、RTA、ELA、CVD、基板清洗間、小片切割、蒸鍍、劃片、UV硬化、基板切割間、探針、陣列檢測間、緩衝(chong) 間、有機庫、FMM庫、QA、回風夾道等，核心淨化區周圍的其它功能房間包括有空調機房、電氣室、配電室、維修間、材料庫等。在核心淨化生產(chan) 區的兩(liang) 側(ce) 設計回風、管道豎井，形成淨化空氣的循環回路。並且在建築的兩(liang) 邊各設計多部樓梯，形成各層對室外的疏散通道為(wei) 滿足淨化生產(chan) 的微振要求，二層的樓板——華夫板擬采用較厚的穿孔樓板結構，華夫板麵刷環氧樹脂塗料，為(wei) 滿足生產(chan) 工藝的靈活布置並提高淨化麵積的使用效率，生產(chan) 人員經主入口門廳進入換鞋區，再進入一次更衣，通過員工專(zhuan) 用樓梯進入二層二次更衣室，再通過風淋室進入生產(chan) 區。
潔淨室空調係統由MAU（新風處理係統）+FFU+幹盤管共同構成。生產(chan) 區吊頂由風機過濾單元（FFU）與(yu) 金屬吊頂框架組成，FFU視各生產(chan) 機台需要之等級均布，覆蓋率隨生產(chan) 工藝需求而定。新風由MAU（新風處理係統）集中處理後與(yu) 室內(nei) 的循環風混合，經FFU加壓、過濾後送入生產(chan) 區。生產(chan) 區內(nei) 設備、人員、照明、圍護結構等冷負荷均由幹盤管承擔。潔淨室內(nei) 濕度及正壓控製由MAU負責。MAU供風量需求約50000CMH×2+1台，潔淨室循環風量約773000CMH。新風入口附設不織布濾網及庫板隔間氣室於(yu) 新風空調機組入口前，延長主要濾網壽命。
在化學品庫、氣體(ti) 間設置獨立的空調係統,新風經處理後送入室內(nei) ，然後通過排風係統全部排至室外，空氣不循環使用。
工藝排風係統：在工藝生產(chan) 過程中會(hui) 產(chan) 生含酸、堿、有機溶劑、高沸點有機、有害等廢氣。為(wei) 保護生產(chan) 人員的健康，減少對工作環境及廠區周圍空氣的汙染，分別設計了相應的局部排風係統、全室排風係統及廢氣處理係統。為(wei) 消除工藝生產(chan) 區工藝設備等散發的熱量所設計的局部排風係統、全室排風係統的排風不需處理可直接排入大氣。為(wei) 消除工藝生產(chan) 區工藝設備散發的含酸、堿、有機溶劑、高沸點有機、有害等廢氣的局部排風係統，排風須先經廢氣洗滌塔等廢氣處理裝置處理，達到排放標準後才能排入大氣。工藝排風係統排風機風量設定約STR400CMH×1+1台;GEX-D18000CMH×1+1台；EX-W&GEX-H12300CMH×1台，備用機與(yu) GEX-D共用；SEX 16 000CMH×1+1台；ORG 4 000 CMH×1+1台，所有工藝排風機均帶變頻器。
防、排煙係統：對於(yu) 大於(yu) 300m2的地上房間、長度大於(yu) 40m的疏散走道、長度大於(yu) 20m的內(nei) 走道設置消防排煙係統。以高度為(wei) 50cm的擋煙垂壁劃分防煙分區，最大防煙分區的麵積為(wei) 500m2。排煙風機的風量為(wei) 72000m3/h（60000×1.2倍）。密閉房間設置機械排煙係統時，同時設置機械補風係統，補風量為(wei) 排煙量的50%。防煙樓梯間及其前室、消防電梯前室或合用前室設置防煙設施。
3、潔淨等級要求
核心淨化區0.3ìm、ISO5.5，輔助區域0.3ìm、ISO6.5。其工序環境參數見表1。
4、施工重點分析
4.1建設過程必須遵循潔淨室建設四項原則
（1）不帶入。
（2）不產(chan) 生。
（3）不積累。
（4）快速去除。
不帶入，就是不向潔淨室帶人任何灰塵，必須確保以下條件：
（1）高效過濾器與(yu) 結構不產(chan) 生灰塵泄漏。
（2）保持潔淨室正壓。
（3）人員經更衣換鞋、風淋後方可進入潔淨室。
（4）材料與(yu) 設備經清洗後方可進入潔淨室。
不產(chan) 生，就是不在潔淨室產(chan) 生任何灰塵，必須確保以下條件：
（1）人員應穿潔淨服。
（2）不使用容易產(chan) 生灰塵的材料與(yu) 設備。
（3）不進行不必要的移動。
（4）不帶入無用品。
不積累，就是不在潔淨室積累任何灰塵，必須確保以下條件：
（1）不使設備角和四周清潔困難。
（2）潔淨室盡量不暴露風管和管道。
（3）遵守標準化淨化工作程序。
快速去除，就是快速去除潔淨室內(nei) 灰塵，必須做到以下幾點：
（1）增加換氣率。
（2）在靠近產(chan) 生灰塵的地方設置排氣裝置。
（3）采用合適的氣流形式以避免灰塵粘在產(chan) 品上。
4.2基於(yu) 以上原則，潔淨室施工重點工作
做好潔淨室氣密隔絕，將潔淨室與(yu) 外界完全隔離，確保外界汙染物不能進入潔淨室範圍，在正式內(nei) 裝圍護結構未完成前，先做臨(lin) 時隔離設施。
建立三級潔淨管製，確保施工各階段符合相應淨化管製標準。
高架地板開孔率計算及孔板、盲板分布。為(wei) 保證華夫板回風均勻，從(cong) 回風夾道向另一側(ce) 盲板的分布率遞減以平衡氣流，防止短路。
確保內(nei) 裝圍護結構的嚴(yan) 密性，潔淨區外圍牆體(ti) 、頂板必須保持嚴(yan) 密，嚴(yan) 禁外氣泄漏進入潔淨室。確保回風夾道的密閉，包括幹盤管牆的密閉及回風夾道圍護結構的氣密性，以保證幹盤管的斷麵風速、風量要求，同時防止氣流短路，未經幹盤管直接進入靜壓箱。
進入二級潔淨管製階段，盡快在潔淨室內(nei) 建立正壓，方法是利用新風機組為(wei) 室內(nei) 提供新風，建立正壓，在新風機外部的新風吸入口加設無紡布過濾新風，以延長新風機內(nei) 初效過濾器、中效過濾器的使用壽命。
潔淨室施工完成後，經過調試、檢測，潔淨室各項數據均符合設計指標。
5、結語
通過對本項目施工實踐的總結，驗證了項目潔淨管理重點的正確性，潔淨室施工管理，要嚴(yan) 格遵循潔淨室建設四項原則，可確保潔淨室工程建設的成功。
潔淨工程狀態：
潔淨室狀態有以下三個(ge) ：
空氣潔淨室：已經建造完成並可以投入使用的潔淨室（設施）。它具備所有有關(guan) 的服務和功能。但是，在設施內(nei) 沒有操作人員操作的設備。
靜態潔淨室：各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔淨室（設施），但是設施內(nei) 沒有操作人員。
動態潔淨室：處於(yu) 正常使用的潔淨室，服務功能完善，有設備和人員；如果需要，可從(cong) 事正常的工作。
控管項目：
1、能除去空氣中飄遊之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產(chan) 生。
3、溫度和濕度之控製。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體(ti) 之排除。
6、結構物與(yu) 隔間之氣密性。
7、靜電之防製。
8、電磁幹擾預防。
9、安全因素之考慮。
10、節能之考量。
潔淨淨化工程分類
亂(luan) 流式
空氣由空調箱經風管與(yu) 潔淨室內(nei) 之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室，並由潔淨室兩(liang) 側(ce) 隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂(luan) 流或渦流狀態。此型式適用於(yu) 潔淨室等級1,000-100,000級。
定義(yi) ：氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔淨室。
原理：亂(luan) 流潔淨室靠送風氣流不斷稀釋室內(nei) 空氣，將汙染空氣逐漸稀釋，來實現潔淨的（亂(luan) 流潔淨室一般設計在千級以上至30萬(wan) 級淨化級別）。
特性：
亂(luan) 流潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與(yu) 潔淨級別。換氣次數決(jue) 定定義(yi) 中的淨化級別（換氣次數越多，淨化級別越高）
（1）自淨時間：是指潔淨室按設計換氣次數開始送風到潔淨室，室內(nei) 含塵濃度達到所設計的淨化級別的時間。 1000級希望不超過20min(分鍾) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鍾) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鍾) (可取30min計算)
（2）換氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時 (規範:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規範:15次/小時)
優(you) 點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無塵工作台，提高潔淨室等級。
缺點：亂(luan) 流造成的微塵粒子於(yu) 室內(nei) 空間飄浮不易排出，易汙染製程產(chan) 品。另外若係統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間。
層流式
(Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nei) ，並由高架地板或兩(liang) 側(ce) 隔牆板回風，此型式適用於(yu) 潔淨室等級需定較高之環境使用，一般其潔淨室等級為(wei) Class1~100。其型式可分為(wei) 二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回風係統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側(ce) 汙染較嚴(yan) 重。
優(you) 點：構造簡單，運轉後短時間內(nei) 即可變成穩定。
缺點：建造費用比亂(luan) 流式高，室內(nei) 空間不易擴充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員所產(chan) 生的塵埃可快速排出室外而不會(hui) 影響其它工作區域。
優(you) 點：管理容易，運轉開始短時間內(nei) 即可達穩定狀態，不易為(wei) 作業(ye) 狀態或作業(ye) 人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
複合式
(Mixed Type)
複合式為(wei) 將亂(luan) 流式及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。
(1)潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。
此型式需將作業(ye) 人員之工作區與(yu) 產(chan) 品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI製程大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項優(you) 點：
A.彈性擴充容易；
B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)潔淨管道(Clean Tube)：將產(chan) 品流程經過的自動生產(chan) 線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產(chan) 品和作業(ye) 員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自動化生產(chan) 線為(wei) 適宜使用。藥品、食品業(ye) 界及半導體(ti) 業(ye) 界均適用。
(3)並裝局部潔淨室(Clean Spot)：將潔淨室等級10,000~100,000之亂(luan) 流潔淨室內(nei) 之產(chan) 品製程區的潔淨度等級提高為(wei) 10~1000級以上，以為(wei) 生產(chan) 之用；潔淨工作台、潔淨棚、裝配式潔淨室、潔淨衣櫃即屬此類。
潔淨工作台：等級Class 1~100級。
潔淨棚：為(wei) 在亂(luan) 流式之潔淨室空間內(nei) 以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為(wei) 一較高級之潔淨空間，其等級為(wei) 10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋麵積約10m2以下，四支支柱並加裝活動輪，可為(wei) 彈性運用。
氣流的流動
氣流重要性
潔淨室的潔淨度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產(chan) 生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
潔淨室係利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分幹淨。然而潔淨室內(nei) 除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
風速的控製
潔淨室內(nei) 的氣流是左右潔淨室性能的重要因素，一般潔淨室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而幹擾趨於(yu) 混亂(luan) 、雖提高風速可抑製此一擾亂(luan) 之影響而保持潔淨度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔淨度水準之時，能以最適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。
另一方麵欲達到潔淨室潔淨度之穩定效果，均一氣流之保持亦為(wei) 一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁麵，氣流會(hui) 延著壁麵發生渦流作用，此時要實現高潔淨度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出麵的風速不可有速度上的差異；(b)地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，一般潔淨室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響因素
影響潔淨室的氣流因素很多，如製程設備、人員、潔淨室組裝材、照明器具等，同時對於(yu) 生產(chan) 設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
一般操作台或生產(chan) 設備等表麵的氣流分流點，應設於(yu) 潔淨室空間與(yu) 隔牆板間距2/3之處，如此可使作業(ye) 人員工作時，氣流可從(cong) 製程區內(nei) 部流向作業(ye) 區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程區前方，將成為(wei) 不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至製程區之後，作業(ye) 員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作台因而將受到汙染，良率也勢必降低。
潔淨室內(nei) 的工作桌等障礙物，在相接處均會(hui) 有渦流現象發生，相對地在其附近之潔淨度將會(hui) 較差，在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為(wei) 氣流是否成為(wei) 渦流現象之重要因素。
潔淨室之構成
潔淨室的構成是由下列各項係統所組成(在所組成的係統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔淨室：
(1)天花板係統：包括吊杆(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。
(2)空調係統：包括空氣艙、過濾器係統、風車等。
(3)隔牆板(Partitional wall)：包括窗戶、門。
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具：LED淨化平麵燈。
潔淨室之建築主體(ti) 構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：
A.不會(hui) 因溫度變化與(yu) 振動而發生裂痕；
B.不易產(chan) 生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為(wei) 了維持室內(nei) 之濕度條件，熱絕緣性要高；
按用途分類
工業(ye) 潔淨室
以無生命微粒的控製為(wei) 對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象的汙染，內(nei) 部一般保持正壓狀態。 它適用於(yu) 精密機械工業(ye) 、電子工業(ye) （半導體(ti) 、集成電路等）宇航工業(ye) 、高純度化學工業(ye) 、原子能工業(ye) 、光磁產(chan) 品工業(ye) （光盤、膠片、磁帶生產(chan) ）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chan) 等多行業(ye) 。
生物潔淨室
主要控製有生命微粒（細菌）與(yu) 無生命微粒（塵埃）對工作對象的汙染。又可分為(wei) ；
A、 一般生物潔淨室：主要控製微生物（細菌）對象的汙染。同時其內(nei) 部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內(nei) 部一般保證正壓。實質上其內(nei) 部材料要能經受各種滅菌處理的工業(ye) 潔淨室。例：製藥工業(ye) 、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chan) 品生產(chan) 、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全潔淨室：主要控製工作對象的有生命微粒對外界和人的汙染。內(nei) 部要保持與(yu) 大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔淨實驗室、物物工程（重組基因、疫苗製備）
汙染源知識
發塵量
潔淨室內(nei) 的發塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內(nei) ；產(chan) 品，材料等在運送過程中的發塵與(yu) 人體(ti) 發塵量相比，一般極小，可忽略；由於(yu) 金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建築表麵的發塵也很少，一般占10%以下，發塵主要來自人，占90%左右。在人的發塵量上，由於(yu) 服裝材料和樣式的改進，發塵絕對量也不斷減少。
A、材質：棉質發塵量最大，以下依次為(wei) 棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少；
C、活動：動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍；
D、清洗：用溶劑洗滌的發塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內(nei) 維護結構表麵發塵量，以地麵為(wei) 準，大約相應8平方米地麵時的表麵發塵量與(yu) 一個(ge) 靜止的人的發塵量相當。
發菌量
工作人員產(chan) 生的汙染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鍾脫落約1000片皮膚（平均大小為(wei) 30*60*3微米）
2）頭發：人類的頭發（直徑約為(wei) 50~100微米）一直在脫落。
3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、矽土、纖維素、各種化學品和細菌。
5）人類靜止和坐立每分鍾將產(chan) 生10000個(ge) 大於(yu) 0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀幹做動作時每分鍾將產(chan) 生1000000個(ge) 大於(yu) 0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鍾將產(chan) 生5000000個(ge) 大於(yu) 0.3微米的微粒。
分析國外試驗資料可以認為(wei) ：
（1） 潔淨室內(nei) 當工作人員穿無菌服時：
靜止時的發菌量一般為(wei) 10-300個(ge) /min.人
軀體(ti) 一般活動時的發菌量為(wei) 150-1000個(ge) /min.人
快步行走時的發菌量為(wei) 900-2500個(ge) /min.人
（2） 咳嗽一次一般為(wei) 70~700個(ge) / min.人
噴嚏一次一般為(wei) 4000~62000個(ge) / min.人
（3） 穿平常衣服時發菌量 3300~62000個(ge) / min.人
（4） 無口罩發菌量:有口罩發菌量 1:7~1:14
（5） 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據國內(nei) 事例：
（6） 手術中人員發菌量 878個(ge) / min.人
所以，可知潔淨室內(nei) 無菌衣人員的靜態發菌量一般不超過300個(ge) / min.人，動態發菌量一般不超過1000個(ge) / min/人，以此作為(wei) 計算依據是可行的。
標準規範
國內(nei) 標準規範
（1）潔淨廠房設計規範
（2）醫院潔淨手術部建築技術規範GB50333-2002
（3）醫藥工業(ye) 潔淨廠房設計規範GB 50457-2008
（4）傳(chuan) 染病醫院建築設計規範
（5）醫藥工業(ye) 潔淨室（區）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
（6）QS認證質量手冊(ce)
（7）GMP藥品生產(chan) 質量管理規範
潔淨工程行業(ye)
潔淨工程是一個(ge) 應用行業(ye) 非常廣泛的基礎性配套產(chan) 業(ye) ，（21世紀）在電子信息、半導體(ti) 、光電子、精密製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗等眾(zhong) 多行業(ye) 均有應用，並根據行業(ye) 的精密與(yu) 無塵要求，等級差別也較大。
級別最高的當屬航天航空的航倉(cang) ，基本是屬於(yu) 1級，屬於(yu) 特殊領域，麵積相對較小。
另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chan) 車間，物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。