電子電器無塵車間必威betway最新官网-電子潔淨廠房設計標準

電子電器無塵車間必威betway最新官网(電子潔淨廠房設計標準)彩鋼板隔間裝修工程，電子電器無塵車間工程——電子製造潔淨車間——無塵車間——淨化工程——電子潔淨廠房設計，電子製造潔淨車間亦名無塵室或潔淨室，目前已是半導體(ti) 、製造、液晶製造、光學製造、線路板製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業(ye) 不可或缺的重要設施。近幾年來，由於(yu) 技術之發展，對於(yu) 產(chan) 品的高度化、細小型化之需求更為(wei) 迫切，如超大型積體(ti) 電路之研究製造，已成為(wei) 在科技發展上極為(wei) 重視的項目，而我公司擁有多年國內(nei) 外電子製造潔淨車間、無塵車間的設計、製作、安裝經驗，設計理念及施工技術在行業(ye) 中。

電子電器無塵車間淨化工程適用場所：電子廠，半導體(ti) 廠，光電產(chan) 業(ye) ，機電房.恒溫恒室實驗室，百級無塵車間潔淨廠房等。
1、電子電器無塵車間淨化路線：
電子電器無塵車間為(wei) 了在操作中盡量減少人活動產(chan) 生的汙染，人員在進入潔淨區之前，必須更換潔淨服並吹淋、洗澡、消毒。這些措施即“人身淨化”簡稱“人淨”。

人淨用房中更換潔淨服的房間應予送風，並對入口側(ce) 等其他房間保持正壓，對廁所、淋浴保持少許正壓，而廁所、淋浴應保持負壓。

2、電子電器無塵車間物料淨化路線：
各種物件在送入潔淨區前必須經過淨化處理，簡稱“物淨”。物料淨化路線與(yu) 人淨路線應分開，如果物料與(yu) 人員隻能在同一處進入潔淨室，也必須分門而入，物料並先經過粗淨化處理。電子製造潔淨車間氣流→初效過濾器淨化→空調→中效過濾器淨化→風機送風→管道→淨化高效送風風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效過濾器淨化 重複以上過程，即可達到淨化目的。

電子製造潔淨車間節能原則：電子製造潔淨車間裏存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。電子製造潔淨車間之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為(wei) 在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧後期運行費用。那種“小處節約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會(hui) 造成電子製造潔淨車間的運行性能降低和能耗增加。

一、電子電器無塵車間主體(ti) 工程:
1、地麵：
A、主廠房：承載力>=2噸/平方米，有防水層，麵層要求水磨石，設備房地麵承載力要求>2噸/平方米，麵層為(wei) 水泥漿原漿找平;

B、庫房：一樓地麵要求承載力>=3噸/平方米，二樓地麵承載力>500 kg/㎡，麵層均要求水磨石，水磨石表麵平整，接縫平直，縫漿飽滿，縱橫方向無明顯錯台錯位，地麵找平處理後,局部的平整度誤差不得高於(yu) 2mm/2M2;

C、氫氣站、矽烷站地麵承載力>2噸/平方米,麵層為(wei) 水泥漿原漿找平;

2、高度：要求廠房最低淨高6000mm;倉(cang) 庫層高5000mm;

3、跨度：橫向8000m，縱向7～8m(見詳設備布局圖)，設備房寬度要求9000m;

4、屋麵荷載：空調機房頂屋麵要求>500kg/㎡，尾氣處理位置>500 kg/㎡(本荷載沒有考慮風載、雪載等，若有屋頂發電站則要考慮電站的基本參數);
5、裝修：設備房、庫房、非潔淨區域、氫氣站、矽烷站要求中級抹灰粉刷，潔淨區域要求水泥砂漿粉刷，衛生間按中等標準裝修;

6、門、窗：
A、 門：進/出貨門為(wei) 5000×5000MM卷簾門，向外開的衛生間門為(wei) 850mm×3000mm，設備房外牆門為(wei) 3500×3000mm，安全逃生門為(wei) 1200mm×3000mm，其他外牆門為(wei) 4000mm×3000mm;
B、窗：廠房窗為(wei) 高窗，窗台高度為(wei) 4000mm，每跨有一扇可推拉;庫房窗一樓為(wei) 高窗，窗台高度為(wei) 4000mm,每跨有一扇可推拉，二樓以上按標準廠房設計;

C、泵房窗：泵房窗為(wei) 固定磨砂玻璃隔熱保溫窗，每跨有一扇可推拉，長方向要設計對流排氣風機且要考慮冬季保溫;

D、天窗設置要符合設備布置要求;

E、參觀窗(樓梯)設置要符合二次裝修及參觀通道設計要求;

7、衛生間：衛生間布局要按照甲方統一圖紙規劃;

8、氫氣站、矽烷站、氮氣站、特氣房的設計均要按照相關(guan) 規範及甲方設備布局要求進行設計;

9、消防工程：主廠房消防設計要根據二次裝修需求和布局進行統一設計，滅火器要求用手推式二氧化碳滅火器;設備房、特氣房、氣站及庫房可按照相關(guan) 消防規範、標準進行設計，特氣站、特氣房的防雷、避雷和防靜電要符合要求，主廠房內(nei) 部防火牆的設計應按照裝修布局給予考慮;

10、照明：庫房、設備間、衛生間的照明按相關(guan) 規範進行設計，主廠房內(nei) 部照明不需設計;

11、電梯與(yu) 卸貨平台：庫房電梯要求B1800mm×L3000mm,電梯開門寬度最少1800mm，載重>3噸;卸貨平台要按照要求設置;
12、設備配套設施：

A、設備接地布置要按照設備布置圖進行設計;

B、設備排水(管/溝)及循環水設施要按照工藝及設備布置要求進行設計;

C、地麵鋪設鋼板位置要按照設備布置要求進行設計;

D、循環水池和循環水的設計要按照工藝要求進行設計;

E、設備房及屋頂設備的設備基礎要按照設備基礎設計要求進行設計;

F、自來水用量要求：80T/H，各進水口具體(ti) 位置要滿足工藝要求，且每處進水口均應配備閘閥和水表;電用量要求：10000KVA;

G、供熱：設備房、庫房、衛生間按當地供熱標準進行設計，廠房空調房區域應預留DN300的熱水管，壓力為(wei) 0.3MPa~0.4MPa，水溫60～80℃，具體(ti) 供暖在二次裝修考慮;

H、車間層壓機段要設計地下室(用於(yu) 做真空泵，本地下室需要通風排風，防水設計);

I、廠房為(wei) 丙類。

二、超淨裝修設計要求：
(1)、車間布局與(yu) 結構

1、淨化區域各房間吊頂標高：
車間淨化工程中正常區域的標高為(wei) 2.8m，PECVD區域為(wei) 特殊區域，其標高為(wei) 3m。彩鋼板防火牆設置要符合消防規範要求，在潔淨區域與(yu) 非潔淨區域交接處的牆體(ti) 應做到屋麵板底。

2、淨化區域隔牆：
車間淨化區域的隔牆需嚴(yan) 格按照公司提供的圖紙施工，對特殊區域有要求按先後順序施工的必須按公司要求進行施工。
3、地坪指標要求：
3.1、車間地坪需要做平整，在一平方米區域內(nei) 伏不超過1mm，以便設備安裝找平;

3.2、車間地坪不會(hui) 脫層、不起灰塵及耐磨，不起泡，氣泡允許每平方米1個(ge) ，且要小於(yu) 直徑2mm。

3.3、地麵要求：超淨間地麵要求用環氧樹脂自流平，組件段采用環氧薄塗，氣體(ti) 房(含氫氣、矽烷及特氣間)也用薄塗。
4、車間鋼質鋼板門和窗的尺寸：

4.1、單扇門的尺寸為(wei) 1000*2100mm;

4.2、雙開門的尺寸為(wei) 2200*2700mm;

4.3、安全逃生門的尺寸為(wei) 1200*2100mm;
4.4 防火牆防火門尺寸為(wei) 2400*2800mm;

4.5、活動牆的尺寸為(wei) 4000*2700mm(施工中可分成兩(liang) 扇2000*2700mm);

4.6、PECVD後的觀察窗的尺寸為(wei) 300*150mm，辦公室、冷卻間門上的觀察窗為(wei) 尺寸為(wei) 350*500mm;

4.7、層壓機、白玻璃清洗機、一次清洗機觀察窗的尺寸為(wei) ：1150*400mm;

注：相同型號門開孔的高度需一致。

5、設備隔牆準確位置、開口大小：
因部分設備在安裝過程中有穿過彩鋼板，因此隔牆的開口位置、大小應適應設備需求現場開口。

6、車間風淋室：
人員進入超淨前應經過風淋室，風淋室為(wei) 雙人通行。風淋室應自帶互鎖裝置，人員進入風淋室在未達到預設吹風時間的情況下不能進入車間，吹完後人員進入車間，在出門未合上前進門不能開啟，直到出門合上後方可打開進門放人員進入。貨物風淋間開門尺寸為(wei) 2200*2400mm。

7、無塵車間頂部的消防排煙裝置：
設計單位在設計時需要對無塵車間頂部的消防排煙送風及排風做好設置。現在土建施工圖上已有設計的部分要盡量充分利用。

8、緊急逃生門為(wei) 專(zhuan) 用逃生門。

9、車間消防設施：
車間消防需按消防標準設計，消防噴淋采用空氣預作用啟動方案進行設計，在冷卻區、退火區和PECVD區域的噴淋頭要求耐高溫>120度。

(2)、空調部分
1、車間溫度、濕度、潔淨度指標
車間潔淨區的溫度為(wei) 25℃±2℃，濕度30%~60%，潔淨度超淨都為(wei) 10萬(wan) 級。更衣室、風淋間、冷卻間、工件架擦拭、工件架清洗采用10萬(wan) 級送風，排風采用直排。退火間、冷卻間的溫度應控製在30℃以下，濕度應小於(yu) <60%。

2、車間工藝用冷卻循環水使用單獨的製冷設備，工藝冷卻水在往設備供水時應保證供水的水溫在17-21℃。

3、淨化送風風口以及非淨化送風風口位置要求：
淨化區風口與(yu) 非淨化區風口除PECVD外沒有特殊要求，隻要能滿足溫度及濕度要求即可。PECVD風口要求：高效送風口不得直吹PECVD沉積室及預熱爐，回風口不得安排在PECVD沉積爐排氣管後麵。

4、空調機組所需電力需求、占地麵積：
設計單位應提供空調機組所用的功率，空調機房機組設備基礎所占用的麵積和基礎圖，以便在前期施工中實施。

5、空調用水量的預估
設計單位在中標後，應及時提出空調的冷、熱水用水量，以便在土建過程中完成管道的施工。

6、空調的控製要求：
因生產(chan) 過程中車間空調屬無人值班的設備，因此設計單位在設計時應采用自動控製係統，以便設備的正常運行。

7、空調回風過濾要求：
空調送風是10萬(wan) 級的，經過與(yu) 超淨間內(nei) 部空氣的接觸，整個(ge) 回風中會(hui) 攜帶大量的細小粉塵回到空調主風箱中而汙染主風箱過濾網，因此在所有的空調回風口都需要安裝過濾網。

8、排風要求：
退火間、冷卻間、工件架擦拭間、工件架清洗機、車間門口換鞋區都應采取單獨排風係統，上述回不得與(yu) 其它區域的回風混合。各排風量需設計單位依據各功能間的麵積算好換風次數，排風次數要求大於(yu) 30次/小時，以保證各功能間的正常使用。

9、風管製作安裝要求：
設計單位設計空調管路時要注明管路材料標準，風管製作時應保證材料表麵的清潔，送風管道及回風管道在安裝完後應及時做好密封工作。

10、其它要求
通風管道在設計時應避開車間采光口(采光口詳見車間土建施工圖紙)。

11、空調冬季製暖使用熱水製暖的形式。

12、每個(ge) 消火栓和閘閥均應設計獨立可開的彩鋼門。

(3)、電器部分
1、超淨間各房間照度要求：
超淨間照度在>150(LUX)，員工操作區域為(wei) 250LUX。

2、淨化間照明控製要求：

2.1淨分間照明可采用本地控製加分片總控，單個(ge) 開關(guan) 控製照明燈小於(yu) 20盞;

2.2 PECVD的照明控製需要離開PECVD沉積室一定的距離(大於(yu) 8米);此部分燈具要求耐高溫》120度且不能直接裝在PECVD頂部，應設計在兩(liang) 沉積室的中間頂部或前方。

3、淨化間插座安裝位置、高度要求：
3.1淨化間的每一根柱子上都需要安裝插座麵板，麵板上需要有一個(ge) 兩(liang) 孔插座及一個(ge) 三孔插座，高度為(wei) 離地麵75cm;

3.2 非淨化區淨化區的每根柱子上也需要安裝插座麵板，麵板上需要有一個(ge) 兩(liang) 孔插座及一個(ge) 三孔插座，高度為(wei) 離地麵75cm;

4、照明、插座以及動力設備電源引入位置：

照明與(yu) 插座將共用一路主電源，照明也同樣需要經過漏保，電源將從(cong) 車間配電房引入，動力電也是從(cong) 車間電房引入，吊頂以上要有維修照明燈和維修插座。

5、消防用電源引入位置。

消防用電從(cong) 車間配電房兩(liang) 個(ge) 不同的變壓器下的低壓櫃引入。

6、安全指示牌、應急燈都需按標準潔淨廠房設計(盡量充分利用土建施工現有設計的部分)。

7、非超淨間的照明要求：

7.1 超純水房、空調房的照度為(wei) 100LUX;

7.2 氣體(ti) 房的照度為(wei) 100LUX，氣體(ti) 房的燈應使用防爆燈。

7.3 磨邊區、組件後段的照度為(wei) 150LUX，操作區域為(wei) 250LUX，采用節能燈(鋁合金廣照燈)。

8、工藝設備用電：
8.1工藝設備用電依設備需要確定給設備配備電纜，設備電纜在設計過程中需滿足設備工藝用電的需求，能確保設備用電安全;
8.2 精密設備與(yu) 其它動力設備需分開單獨拉線，如激光設備的電纜需與(yu) 其它設備用電分開。

9、配電箱設計：
每個(ge) 配電箱在設計時除把主要用電設備的空開計算在內(nei) ，另外還需留有一些備用空開以滿足增加部分設備及維修接電。
10、車間配電房接地：
因車間設備均屬於(yu) 大功率設備，設備使用過程中會(hui) 有很大的電流。因此在電房建造過程中應做好電房接地，以保證車間設備的使用安全。

11、所有設備和功能性電源的電纜均應按最短路徑原則進行設計，電纜和空開的計算不要太保守盡量不擴大係數。

(4)、水部分：
1、自來水，車間生產(chan) 過程中需使用自來水的地方：

1.1 純水間;

1.2 磨邊間;

1.3 氣體(ti) 房;

1.4 空調房;
注：以上地點用水量視車間規模大小而定，設計部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一分段主管需增設主閥門，未端需增設分控閥門，以便設備維修時控製。

2、超純水，車間生產(chan) 過程中需接入超淨水的設備：

2.1 二次導電玻璃清洗(導電玻璃一次清洗將使用二次清洗使用過的水);

2.2 白玻璃清洗;

2.3 芯片清洗;

注：設計部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一段需設一個(ge) 主閥門，未端需設分控閥門，以便設備維修時控製。考慮到各清洗工序對用水的質量高，因此在純水供水點的未端需加一個(ge) 電阻率測量儀(yi) ，以便及時掌握純水設備產(chan) 水的情況。

3、冷卻循環水，車間生產(chan) 過程中會(hui) 使用到冷卻循環水的設備：

3.1 PECVD匹配器、分子泵;

3.2 PECVD真空泵係統;

3.3 磁控線真空泵係統、磁控線加熱箱冷卻係統、靶材冷卻;

3.4 層壓機真空泵係統;

注：設計部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一段需設一個(ge) 主閥門，未端需設分控閥門，以便設備維修時控製。管道焊接時應及時將橡塑保溫管套上，防止管道表麵結露水。

4、水循環利用補充說明

4.1 磨邊區域水的循環利用，磨邊區域產(chan) 生的磨邊廢水經過沉澱池去除二氧化矽粉顆粒後，經過潛水泵再返回到磨邊機儲(chu) 水槽中進行利用，以充分利用水資源。

4.2 純水間製超純水產(chan) 生的濃水因其含礦物質較多無法再將其再用於(yu) 製造超純水，但可以將其收集起來用於(yu) 廠區清潔及花草養(yang) 護，以提高水資源的利用率。

4.3 清洗層電玻璃、白玻璃、電池芯片的去離子水，經過上述工序的去離子水中會(hui) 新增粉塵或清洗劑，其PH值約為(wei) 8-9。這部分水經過過濾及酸堿綜合後將可作為(wei) 純水製造的源水使用。

4.4 建議設計充分考慮水循環方案。

(5)、氣部分，車間生產(chan) 過程中使用以下幾種氣體(ti) ：

1、壓縮空氣，用到壓縮空氣的設備有：

1.1 磨邊機;

1.2 一次激光機、二次激光機、三次激光機;

1.3 二次清洗機;

1.4 每台PECVD沉積室，每兩(liang) 台真空泵係統;

1.5 磁控線(PVD);

1.6 掃邊機;

1.7 芯片測試機;

1.8 反壓機;

1.9 層壓機;

1.10 組件測試機;

1.11 組件打膠區;

1.12 氣體(ti) 房;

1.13 純水間;

1.14 芯片清洗;

1.15 自動化傳(chuan) 送線。

注：空氣壓縮機的供氣壓力為(wei) 8-9Kg，輸氣管道的正常壓力在8Kg。因輸氣管道較長，在設計時應的各主要用氣點設置氣壓表，以便及時了解管道氣壓情況及點檢之用。

2、氮氣，用到氮氣的設備有：

2.1 一次激光機、二次激光機、三次激光機、掃邊機;

2.2 工件架擦拭;

2.3 純水設備;

2.4 PECVD真空倉(cang) 室、幹泵;

2.5 磁控線(PVD);

2.6 氣體(ti) 房氣路櫃;

2.7 尾氣處理(壓力6-7kg)

注：氮氣的供氣壓力為(wei) 4-5Kg，輸氣管道的正常壓力在4Kg。因輸氣管道較長，在設計時應的各主要用氣點設置氣壓表，以便及時了解管道氣壓情況及點檢之用。

3、特殊氣體(ti) ，需使用特殊氣體(ti) 的設備為(wei) PECVD沉積室。

(6)、車間設備排氣部分：

1、清洗機

1.1一次清洗機每台的排氣量為(wei) 1500立方米/小時(在超淨間外，可忽略)

1.2二次清洗機每台的排氣量為(wei) 1000立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為(wei) 熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為(wei) 60攝氏度。

1.3芯片清洗機每台的排氣量為(wei) 1500立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為(wei) 熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為(wei) 60攝氏度。

1.4白玻璃清洗機每台的排氣量為(wei) 900立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為(wei) 熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為(wei) 60攝氏度。

2、激光掃邊機
激光掃邊機每台風機的排風量為(wei) 3800立方米/小時。激光掃邊機的排氣主要含有大氣及激光掃邊過程中產(chan) 生的粉塵。此排氣可以通過專(zhuan) 門的排氣管道直接排至大氣中。

3PECVD油泵、維持泵，PVD油泵，層壓機油泵排氣
3.1PECVD每台的排氣量為(wei) 180立方米/小時;

3.2PVD每台的排氣量為(wei) 120立方米/小時;

3.3層壓機每台的排氣量為(wei) 252立方米/小時;

3.4以上油泵排氣可以通過一條特殊管道(如鍍鋅圓管加一防爆排風機)來實現從(cong) 車間至外界的排氣。油泵排出氣體(ti) 的主要成份為(wei) 大氣及油泵自身的油氣，排出的氣體(ti) 可以通過除油後直接排往大氣。

4、PECVD幹泵排氣

4.1PECVD每台幹泵的排氣量為(wei) 5立方米/小時，

4.2其主要排出的氣體(ti) 為(wei) PECVD工藝過程中未完全反應完的特殊氣體(ti) 及特殊氣體(ti) 在工藝過程中產(chan) 生的粉塵。

4.3PECVD幹泵排氣因其存在特殊氣體(ti) 及粉塵，因此從(cong) PECVD幹泵出來的氣體(ti) 需要經過燃燒爐及除塵器處理後方可將尾氣排入大氣中。

4.4各台PECVD幹泵出來的尾氣需要經過管道集中起來後送入燃燒爐，尾氣管道需要采用無縫鋼管及無縫焊接。

5、氣路櫃、氣瓶櫃、VMB排氣

5.1 氣路櫃每台需求的排氣量為(wei) 300立方米/小時;其排氣的主要成分為(wei) 大氣，特殊情況下會(hui) 含有一些泄露的工藝氣體(ti) ，
5.2 氣瓶櫃每台需求的排氣量為(wei) 250立方米/小時;

5.3 VMB每台需求的排氣量為(wei) 50立方米/小時;

5.4其排氣的主要成分為(wei) 大氣，特殊情況下會(hui) 含有一些泄露的工藝氣體(ti) 。工藝氣體(ti) 在遇到大氣的情況下都能自燃，因此上述排氣可以通過管道直接排至大氣中。

(7)、設備發熱量
1、車間內(nei) 會(hui) 存在加熱的設備或存在散熱的設備

1.1各種清洗機的風刀產(chan) 生的熱風，因采用排風管，此處的熱風可忽略;

1.2PECVD沉積爐，其加熱係統功率為(wei) 12KW，設備的尺寸為(wei) 1970*1627*1365mm，共有六個(ge) 散熱麵，散熱麵的表麵溫度為(wei) 40-50攝氏度。

1.3預熱爐，其加熱功率為(wei) 40KW，設備尺寸為(wei) 1970*1627*1365mm，共有六個(ge) 散熱麵，散熱麵的表麵溫度為(wei) 40-50攝氏度。
1.4退火爐，其加熱功率為(wei) 30KW，設備尺寸為(wei) ，共有六個(ge) 散熱麵，散熱麵的表麵溫度為(wei) 40-50攝氏度。

1.5做完工藝的工件架，此工件架為(wei) 一個(ge) 含37塊鋁基板及72片導電玻璃的設備，此設備的溫度需要在3小時內(nei) 從(cong) 200攝氏度降到50攝氏度。設備及玻璃的尺寸分別為(wei) 1320*1200*950mm,1245*635*3.2mm。

1.6層壓主機外及層壓好的電池板，層壓主機區域溫度為(wei) 40-60攝氏度，層壓好的電池板溫度為(wei) 120-130攝氏度，尺寸為(wei) 1245*635*8mm，電池板的溫度需在3小時內(nei) 要降至50攝氏度。