光學微電子行業淨化工程的基本要求
光學微電子行業(ye) 淨化工程的基本要求
隨著科技的不斷發展,光學微電子行業(ye) 在我國得到了迅速的發展。光學微電子產(chan) 品廣泛應用於(yu) 光通信、光顯示、光存儲(chu) 等領域,其質量直接影響到產(chan) 品的性能和可靠性。為(wei) 了確保光學微電子產(chan) 品的生產(chan) 環境達到高標準,淨化工程在光學微電子行業(ye) 扮演著至關(guan) 重要的角色。以下是光學微電子行業(ye) 淨化工程的基本要求:
一、潔淨度要求
潔淨度等級:光學微電子行業(ye) 淨化工程《潔淨室空氣調節用空氣過濾器》標準,根據不同生產(chan) 環節的要求,選擇相應的潔淨度等級。通常,光學微電子行業(ye) 潔淨度等級分為(wei) N1級至N10級。
潔淨度控製:通過高效空氣過濾器(HEPA)對送風進行處理,確保送風潔淨度達到要求。同時,對回風進行過濾,減少室內(nei) 塵埃顆粒的積累。
二、溫濕度控製
溫度:光學微電子行業(ye) 淨化工程對溫度的要求較高,一般控製在20℃±2℃範圍內(nei) 。溫度波動過大會(hui) 影響光學微電子產(chan) 品的性能。
濕度:濕度控製在40%-60%之間,避免因濕度過高導致產(chan) 品受潮或因濕度過低導致靜電積累。
三、氣流組織
氣流速度:光學微電子行業(ye) 淨化工程中,氣流速度應控製在0.2-0.5m/s之間,以確保塵埃顆粒在氣流作用下被有效控製。
氣流方向:氣流方向應從(cong) 潔淨度高的區域流向潔淨度低的區域,避免交叉汙染。
四、防靜電措施
靜電防護材料:使用防靜電地板、防靜電工作台等靜電防護材料,降低靜電產(chan) 生。
靜電消除設備:安裝靜電消除器,及時消除靜電。
五、潔淨室裝修
裝修材料:選用符合環保標準的裝修材料,避免有害物質釋放。
裝修工藝:采用無塵施工工藝,確保裝修過程中不產(chan) 生塵埃。
六、設備選型與(yu) 安裝
設備選型:根據生產(chan) 需求,選擇合適的淨化設備,如高效空氣過濾器、風機、風管等。
設備安裝:嚴(yan) 格按照設備說明書(shu) 進行安裝,確保設備運行穩定。
總之,光學微電子行業(ye) 淨化工程的基本要求涵蓋了潔淨度、溫濕度、氣流組織、防靜電、裝修和設備選型與(yu) 安裝等方麵。隻有滿足這些基本要求,才能確保光學微電子產(chan) 品在生產(chan) 過程中的質量,為(wei) 我國光學微電子行業(ye) 的發展提供有力保障。
無塵車間潔淨室裝置與(yu) 規劃:
潔淨室選用不同的送風及回風體(ti) 係的不同規劃是決(jue) 議車間不同潔淨度等級的決(jue) 議性要素。
1、標準組合式空調風櫃+空氣過濾體(ti) 係+潔淨室通風保溫管道+HEPA高效送風口+潔淨室回風管道體(ti) 係。這種方式能不斷循環和補充新風進入潔淨室車間內(nei) ,以達到出產(chan) 環境所需的潔淨度。
2、潔淨室天花裝置FFU空氣淨化器直接往潔淨室送風+回風柱回風體(ti) 係+吸頂式空調機製冷。這種方式一般用於(yu) 環境潔淨度要求不是非常高的場合,而且成本相對低一些。
質量要求
生產(chan) 車間按生產(chan) 工藝和產(chan) 品質量要求,分為(wei) 一般生產(chan) 區、控製區和。設人員換鞋區、男女一、二次更衣室、洗手、手消毒、洗衣間、風淋通道、潔淨人流走廊、物流貨淋室,貨淋走道通道、注塑間、膠墊吹塵、中儲(chu) 庫、組裝間、內(nei) 包裝間、外包裝間及機房、物流等。機房設在三樓天麵原小房間中,需做隔音防震處理; 冷卻塔及冷卻泵置於(yu) 三樓天麵;設備運行負荷符合樓板承重要求。
流動方向
人員流動方向:換鞋、更衣、洗手、手消毒–風淋室–潔淨走廊–潔淨車間
在淨化車間及走廊設安全門, 便於(yu) 人員疏散。
物品流動方向:物流通道——潔淨車間——–成品包裝淨化空調係統。
潔淨室標準要求必須達到百級或者萬(wan) 級,30萬(wan) 級,必須配風淋室,傳(chuan) 遞窗,FFU,高效送風口,超淨工作台,空氣過濾器等等。