潔淨室淨化工程分類及作用

潔淨室淨化工程分類及作用

控製產(chan) 品 (如矽芯片等) 所接觸之大氣的潔淨度及溫濕度，使產(chan) 品能在一個(ge) 良好之環境空間中生產(chan) 、製造。此空間的設計施工過程即可稱為(wei) 淨化工程。

潔淨室分類：
亂(luan) 流式 (Turbulent Flow)空氣由空調箱經風管與(yu) 潔淨室內(nei) 之空氣過濾器(HEPA) 進入潔淨室，並由潔淨室兩(liang) 側(ce) 隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂(luan) 流或渦流狀態。此型式適用於(yu) 潔淨室等級1,000-100,000級。

優(you) 點：構造簡單、係統建造成本低，潔淨室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無塵工作台，提高潔淨室等級。
缺點：亂(luan) 流造成的微塵粒子於(yu) 室內(nei) 空間飄浮不易排出，易汙染製程產(chan) 品。另外若係統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間。

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nei) ，並由高架地板或兩(liang) 側(ce) 隔牆板回風。
此型式適用於(yu) 潔淨室等級需定較高的環境使用，一般其潔淨室等級為(wei) Class1~100。其型式可分為(wei) 二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回風係統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側(ce) 汙染較嚴(yan) 重。
優(you) 點：構造簡單，運轉後短時間內(nei) 即可變成穩定。

缺點：建造費用比亂(luan) 流式高，室內(nei) 空間不易擴充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員所產(chan) 生的塵埃可快速排出室外而不會(hui) 影響其它工作區域。

優(you) 點：管理容易，運轉開始短時間內(nei) 即可達穩定狀態，不易為(wei) 作業(ye) 狀態或作業(ye) 人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
複合式:複合式為(wei) 將亂(luan) 流式及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。

(1)潔淨隧道：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(ye) 人員之工作區與(yu) 產(chan) 品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI製程大都采用此種型式。

潔淨隧道另有二項優(you) 點：
A.彈性擴充容易；
B.維修設備時可在維修區輕易執行。

(2)潔淨管道：將產(chan) 品流程經過的自動生產(chan) 線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產(chan) 品和作業(ye) 員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自動化生產(chan) 線為(wei) 最適宜使用。藥品、食品業(ye) 界及半導體(ti) 業(ye) 界均適用。

(3)並裝局部潔淨室：將潔淨室等級10,000~100,000之亂(luan) 流潔淨室內(nei) 之產(chan) 品製程區的潔淨度等級提高為(wei) 10~1000級以上，以為(wei) 生產(chan) 之用；潔淨工作台、潔淨棚、潔淨風櫃即屬此類。
潔淨工作棚：為(wei) 在亂(luan) 流式之潔淨室空間內(nei) 以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為(wei) 一較高級之潔淨空間，其等級為(wei) 10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋麵積約10m2以下，四支支柱並加裝活動輪，可為(wei) 彈性運用。