光學微電子淨化工程結構材料與無塵車間淨化參數
光學微電子淨化工程結構材料與(yu) 無塵車間淨化參數
光學微電子淨化工程無塵車間之定義(yi) 為(wei) 將一定空間範圍內(nei) 之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內(nei) 之溫濕度、潔淨度、室內(nei) 壓力、氣流速度與(yu) 氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一需求範圍內(nei) ,而所給於(yu) 特別設計之密閉空間。
光學微電子淨化工程結構材料:
1、淨化廠房牆、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板製造,其特點為(wei) 美觀、剛性強。圓弧牆 角、門、窗框等一般采用專(zhuan) 用氧化鋁型材製造。
2、地麵可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3、送回風管道用熱渡鋅板製成,貼淨化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4、高效送風口用不鏽鋼框架,美觀清潔,衝(chong) 孔網板用烤漆鋁板,不生鏽不粘塵,宜清潔。
光學微電子無塵車間淨化工程淨化參數:
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為(wei) 宜;電子車間濕度略高以免產(chan) 生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
光學微電子淨化工程亦名無塵室或清淨室,目前已是半導體(ti) 、精密製造、液晶製造、光學製造、線路板製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業(ye) 不可或缺的重要設施。近幾年來,由於(yu) 技術之創新發展,對於(yu) 產(chan) 品的高精密度化、細小型化之需求更為(wei) 迫切,如超大型積體(ti) 電路之研究製造,已成為(wei) 世界各國在科技發展上極為(wei) 重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業(ye) 中則處於(yu) 領先地位。
光學微電子淨化工程一般包括:
1、潔淨生產(chan) 區
2、潔淨輔助間(包括人員淨化用房、物料淨化用室和部分生活用室等)
3、管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、設備區(包括淨化空調係統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
光學微電子淨化工程淨化原理:
氣流→初效淨化→空調→中效淨化→高效淨化→風淋室→FFU風機送風→管道→高效送風口淨化→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效淨化重複以上過程,即可達到淨化目的。
光學微電子淨化工程解決(jue) 方案:
淨化工程的設計過程中,應加強對光學微電子行業(ye) 淨化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,並結合其具體(ti) 的生產(chan) 工藝、生產(chan) 流程等要求確定其需要的潔淨度、溫濕度。再根據該工程的具體(ti) 情況,同時還要考慮到生產(chan) 廠家的經濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種淨化方案,這樣才可設計出一個(ge) 能滿足甲方生產(chan) 使用要求、工程造價(jia) 合理、經濟節能實用的方案。
1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口這是一個(ge) 傳(chuan) 統的淨化空調係統的設計方案。組合式空氣處理機組裏含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
優(you) 點:
A.空氣處理效果好,因空氣經過集中處理,在送風過程中被汙染程度較低。送風的溫度、濕度的控製比較精確;
B.比較適用於(yu) 有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調冷熱源可與(yu) 廠房普通空調係統合用或獨立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。缺點:
A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房,如25000m3/h的組合式空氣處理機組,常用外形尺寸為(wei) 6450×1850×2250mm左右。對於(yu) 舊廠房改造項目來說比較困難空出一個(ge) 20-30m的機房的;
B.造價(jia) 高。
特點:
A.建議新風經過集中處理後再與(yu) 回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
C.這類方案一般可以適用潔淨度較高的如百級、千級或萬(wan) 級、十萬(wan) 級等較低的淨化無塵廠房。
2、光學微電子行業(ye) 淨化工程設計方案分析之水冷櫃機+增壓風櫃+高效送風口與(yu) 前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的麵積,水冷櫃機可以根據具體(ti) 的情況布置於(yu) 較小機房內(nei) 或淨化車間內(nei) ,增壓風櫃也可以布置於(yu) 機房內(nei) 或吊在機房內(nei) 或在夾層內(nei) 。
優(you) 點:
A.空氣處理效果較好的,處理過後的空氣在送風過程中被汙染程度低。送風的溫度、濕度控製效果可以達到較好的控製。主要在空氣處理機組(增壓風櫃)裏進行控製;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車間噪音低。
缺點:
A.需要小麵積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調機組與(yu) 空調處理機組要集中布置;
C.造價(jia) 較低。特點:這種方案可以是一次回風也可以是二次回風,具體(ti) 根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用於(yu) 潔淨度為(wei) 千級、萬(wan) 級、十萬(wan) 級等的淨化無塵廠房。
3、光學微電子行業(ye) 淨化工程設計方案分析之分體(ti) 空調櫃機++FFU送風口這是最簡易的一個(ge) 空調方案。是直接將分體(ti) 空調櫃機布置於(yu) 車間內(nei) ,並用彩鋼圍護起來,在櫃機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網); “betway在线官网”牌 風機過濾單元FFU均勻布置於(yu) 吊頂天花。這個(ge) 方案適用於(yu) 對室內(nei) 溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優(you) 點:
A.不需要占用機房麵積,布置很靈活的;
B.可以滿足空氣的潔淨度;
C.造價(jia) 最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬(wan) ;
D.送風均勻度好。
缺點:
A.溫濕度控製較差;
B.可以滿足空氣的潔淨度;
C.FFU的維修頻率高。
4、光學微電子行業(ye) 淨化工程設計方案分析之無塵車間的特點。
A、無塵車間的潔淨度:
LCD製屏的簡略流程為(wei) :清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→製屏終檢。
在本設計裏是指末端工藝的一些無塵車間,其淨化潔淨度一般為(wei) 千級或萬(wan) 級或十萬(wan) 級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chan) 品的衝(chong) 壓車間、組裝等無塵車間,其潔淨度一般為(wei) 萬(wan) 級或十萬(wan) 級。B、室內(nei) 空氣參數要求 :
(1)溫濕度要求:溫度一般為(wei) 24+2℃,相對濕度為(wei) 55+5%。
(2)新風量大。由於(yu) 這類車間內(nei) ,人員比較多,可以根據以下數值應取下列的最大值:非單向流潔淨室總送風量的10-30%;補償(chang) 室內(nei) 排風和保持室內(nei) 正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nei) 每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風量大。為(wei) 了滿足潔淨室內(nei) 的潔淨度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為(wei) 2.5米的,如果是萬(wan) 級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬(wan) 級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數,是≥15次/h)。
光學微電子行業(ye) 淨化工程設計方案分析對於(yu) 常規電子廠房潔淨室空調的設計,應根據電子廠房的生產(chan) 工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案,以滿足生產(chan) 工藝的要求作為(wei) 前提。根據以往經驗,對於(yu) 要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對於(yu) 要求不高的,又要初投資低的,可以選用櫃機+FFU。總之,具體(ti) 的方案選擇根據具體(ti) 情況而定。
光學微電子廠必威betway最新官网效果:
百級電子淨化車間換氣次數怎樣計算的問題我們(men) 請教過相關(guan) 的潔淨行業(ye) 專(zhuan) 業(ye) ,他們(men) 說其實百級電子潔淨室不是用換氣次數來說,在高效空氣過濾器層流風速達0.45M/S時 一般都是采用FFU風機過濾單元滿布處理。
以上的高效空氣過濾器技術說得對,百級潔淨室的百級不是以換氣次數數的,但也不一定用FFU風機過濾單元。
國內(nei) 一般都是這樣做的,但隻是能做到百級潔淨室的局部百級。
百級潔淨室換氣次數設計規範沒要求,但有麵風速具體(ti) 說明,FFU風機過濾單元或滿布高效過濾器均可。
不一定滿布吧,論壇有人說滿布率80%的案例也成功了。
當然百級潔淨室最好能滿布,實在不行,至少也得有個(ge) 90%以上,高效空氣過濾器風速達到0.45以上就OK了! 斷麵風速不宜過高。
一般是講送風速度的,也不一定就用FFU風機過濾單元,比如手術室的百級,用的就是2400*2600的層流送風天花。
百級潔淨室若非得用換氣次數來衡量的話 200次/h以上。